Reaktívnym magnetrónovým naprašovaním?

2024 Autor: Fiona Howard | [email protected]. Naposledy zmenené: 2024-01-10 06:42

Reaktívne magnetrónové naprašovanie je vyspelá technika nanášania tenkej zloženej vrstvy na širokú škálu substrátov ako vrchná vrstva alebo ako medzivrstva vo viacvrstvovom povlaku. Rozsah „tenkého“sa pohybuje od niekoľkých nanometrov až po niekoľko mikrometrov.

Prečo magnetrón prská?

Magnetrónové naprašovanie je proces zrážky medzi dopadajúcimi časticami a cieľmi … Magnetrónové naprašovanie zvyšuje hustotu plazmy zavedením magnetického poľa na povrch katódy cieľa a využívaním obmedzení magnetické pole na nabitých časticiach na zvýšenie rýchlosti rozprašovania.

Čo znamená reaktívne naprašovanie?

Reaktívne naprašovanie je proces, ktorý umožňuje ukladanie zlúčenín zavedením reaktívneho plynu (zvyčajne kyslíka alebo dusíka) do plazmy, ktorá je typicky tvorená inertným plynom, ako napr. argón (najbežnejší), xenón alebo kryptón.

Ako funguje magnetrónové naprašovanie?

Magnetrónové naprašovanie je technológia nanášania zahŕňajúca plynnú plazmu, ktorá sa vytvára a obmedzuje sa na priestor obsahujúci materiál, ktorý sa má nanášať – „cieľ“. … Tieto zrážky spôsobujú elektrostatické odpudzovanie, ktoré „odráža“elektróny z rozprašovaných atómov plynu, čo spôsobuje ionizáciu.

Prečo RF prská?

RF alebo rádiofrekvenčné naprašovanie je technika, ktorá sa podieľa na striedaní elektrického potenciálu prúdu vo vákuovom prostredí pri rádiových frekvenciách, aby sa zabránilo vzniku náboja na určitých typoch materiálov rozprašovacích terčov, čo môže časom viesť k vzniku oblúka do plazmy, ktorá chrlí kvapôčky …